半岛体育-湿制程领导设备商Manz亚智科技推出Track Line解决方案

湿制程带领装备商Manz亚智科技推出Track Line解决方案 www.6300.net 2017-04-25中国工程机械信息网

与上海微电子设备团体告竣计谋合作和谈 打破外商垄断要害制程装备的场合排场

2017年4月25日，中国姑苏——作为市场领先的湿制程带领装备商，Manz亚智科技凭仗30多年的丰硕经验和跨越3,000台的装备发卖实绩，为显示器和触控面板财产供给出产制程全方位解决方案。为冲破今朝国内显示器出产制程中的暴光机和Track Line等要害装备几近被国外厂商所垄断的场合排场，Manz亚智科技公布与上海微电子设备(团体)股分有限公司（以下简称上海微电子）签订计谋合作和谈。按照合作和谈，将来上海微电子在国内供给黄光微影制程解决方案，将连系其暴光机与Manz Track Line解决方案，联袂拓展国内显示器面板 Array 段的黄光微影制程出产装备市场。

最近几年来，国内平板显示财产在国度政策的延续撑持下，已实现了手艺和财产范围的多种冲破，快速掘起成为世界平板显示财产的主要一环。在TFT装备出产和研发方面，固然国内投入巨资开工扶植了多条高世代面板线，但是固定投资资金约60％摆布都花在了装备采办上，而首要制程装备则从日韩等国度进口，国产装备研发之路照旧任重道远。

Manz亚智科技与国内闻名的半导体装备制造公司-上海微电子签订计谋合作和谈，恰是配合立异、实现手艺冲破并积极响应国度号令“以立异引领实体经济转型进级”的具体表现。两边迁就显示器面板 Array 段的黄光微影制程出产装备结成持久计谋合作关系，旨在打破国内市场上要害装备需依托进口的场合排场。将来，上海微电子的暴光机将连系Manz Track Line解决方案，联袂拓展国内显示器面板 Array 段的黄光微影制程出产装备市场份额。今朝，Manz G4.5 Track Line 相干装备已装机在上海微电子研发厂内，包罗清洗装备、涂布装备、显影装备和主动化软硬件装备，将供给客户做样品测试和验证。

上海微电子作为国内闻名的半导体装备制造商，首要致力在半导体设备、泛半导体设备、高端智能设备的开辟、设计、制造、发卖和手艺办事，其装备普遍利用在集成电路前道、进步前辈封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Device半岛体育s等制造范畴。其研产生产之暴光机为ARRAY段黄光微影制程的要害装备, 分辩率高达2um以下，并已经由过程客户的出产验证。 该暴光机仍不竭进行手艺精进与研发，今朝已告竣1.5um分辩率手艺研发。

Manz Track Line 解决方案之要害装备周详涂布装备，具有超卓的膜厚均一性≤3%。光阻涂布在黄光微影制程中亦是影响 Array 段制程的要害之一，光阻涂布的平均性和用量，都关系着面板良率和出产本钱。Manz亚智科技自立研发的周详涂布装备采纳了狭缝式涂布，能针对分歧的流体进行涂美金内部流道阐发和设计，并采取直接驱动的自有打针泵和供液系统，有用节制光阻的膜厚平均度≤3%。

图一：Manz Track Line解决方案之要害装备，周详涂佈机，具有超卓的膜厚均一性≤3%（图片来历：Manz 亚智科技）

上海微电子将暴光机台、Track Line、长短寸和膜厚量测机台整合在一路，并进一步毗连各装备之间的软硬件，优化各机台的运行参数，连系定制化光阻，为客户供给完全的、高分辩率、高效力黄光微影制程解决方案。

经由过程此次Manz亚智科技与上海微电子的计谋合作，不但可以或许实现装备出产的国产化，从研发、材料、出产到办事全数当地化，更将打破今朝国内要害装备出产被外商所垄断的场合排场。此举将能快速响应面板制造商日新月异的需求，供给定制化的办事，还可以有用地下降装备购买本钱和输送本钱，将来更好的进一步办事当地客户。此次合作，也意味着Manz亚智科技将来将把手艺研发的触角伸进半导体范畴。

Manz亚智科技暨显示器事业部总司理林峻生暗示：“身为湿制程带领装备商，Manz 亚智科技30多年来不竭致力在手艺冲破和立异。由湿制程手艺跨足到以周详涂布为要害的Track Line解决方案，焦点手艺的整合与扩充利用是我们首要的成长标的目的。经由过程与上海微电子的计谋合尴尬刁难我们而言无疑是一年夜助力，将连系两边资本，把握显示器面板黄光微影出产制程的要害手艺与装备，配合打破要害制程装备需仰赖进口的瓶颈，使装备国产化、更切近市场，从而以当地化的办事和出产本钱，更好地办事当地客户。这项计谋合作是一个杰出的初步，将来在半导体财产也将会有更进一步的合作。”想领会更多关在Manz为显示器要害制程所提出的Track Line解决方案，请拜访Manz 亚智科技位在2017上海国际全触与显示展（C-Touch Shanghai 2017）的展位。

日期：2017年4月25日 (周二) ~ 2017年4月27日 (周四)

时候：09:00 AM~04:30 PM

地址：上海世博展览馆二号馆 /上海市浦东新区国展路1099号

展位：2B11

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